一 、運行管理費用大

因為高級別潔凈室凈化風(fēng)量大，新風(fēng)量也大，溫濕度要求嚴(yán)格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多，運行費用貴。 

二、建造投資費用高

高級別潔凈室的建造費用很高，一般來說，100級垂直單向流的潔凈室，其室內(nèi)裝修（墻、頂、地、門、窗等、和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷空調(diào)設(shè)備和管道配件、凈化設(shè)備和配件等、的初投資大約為1000元人民幣/M2；如果加上純水制備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設(shè)備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費用要高達25000~30000元人民幣/M2。

三、靈活適應(yīng)性強

因為，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展很快，高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異像集成電路的發(fā)展2~3年就更新一代，TFT-LCD的發(fā)展更快1~2年就上一個臺階。這就要求為其服務(wù)的高級別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應(yīng)性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計，不是一、二年就會拆掉重建。因此，在設(shè)計和建造潔凈廠房時，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。從一個潔凈廠房的靈活適應(yīng)角度，可將其分為三個層次，第一是不可變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎(chǔ)、梁、柱等結(jié)構(gòu)部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。